технология МОП-структур с самосовмещёнными поликремниевыми затворами

MOP darinių su susitapatinančiomis polikristalinio silicio užtūromis technologija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. self-aligned polysilicon-gate MOS process vok. selbstjustierende MOS-Polysiliziumtechnik, f rus. технология МОП-структур с самосовмещёнными поликремниевыми затворами, f pranc. technologie de structure MOS à grilles en polysilicium auto-alignées, f